>Dear Colleagues
>starting my work on MEMS I would appreciate if anybody can send
>me some information about control of electrostatic driven actuators
>in the instable regime. Especially I am interested in control
>mechanisms to keep the actuator output linear at great deflection
>angles. Any information about latest breakthroughs would be highly
>appreciated. Thanks in advance
>
Dr. Ehrlich:
Versuchen Sie doch mal Faseroptik. Wir messen damit Verbiegungen bis
zu einem Millimeter (falls das fuer Sie nicht zu klein ist).
Der Hersteller ist die TETRA GmbH Ilmenau.

MEMS Gruesze aus Ilmenau!!

Matthias Scherge

Dr. Matthias Scherge
Microtribology Group
Technische Universitaet Ilmenau
PF 100565
D-98684 Ilmenau
Tel +49 3677 693782
Fax +49 3677 693771
ttp://imath.mathematik.tu-ilmenau.de/phys/personal/tribo.html