Si3N4 is a good protector for KOH etching. It has a very low etching rate in
that solution.

Félix Cayer
INO, Quebec


********************************************************************************
*****
Ce courrier électronique s'adresse uniquement à la personne désignée
ci-dessus, il est confidentiel et ne doit pas être remis à une autre
personne, ni reproduit et son contenu ne peut être autrement divulgué.
Si ce courrier électronique vous est transmis par erreur, veuillez
nous en avertir immédiatement à l'adresse securite@ino.ca. Nous
vous remercions de votre collaboration.

This email is directed in confidence solely to the person named above,
and may not otherwise be distributed, copied or disclosed. If you have
received this email by error, please notify us immediately by email to
address security@ino.ca. Thank you for your cooperation.
********************************************************************************
***